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    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)

    簡(jiǎn)要描述:

    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)探針臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),滿(mǎn)足廣泛的實(shí)驗(yàn)需求,LH-PS100是德世提供的一款通用高性能入門(mén)級(jí)探針臺(tái),配置四個(gè)微探針臂,出廠(chǎng)時(shí)可根據(jù)客戶(hù)需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據(jù)研究人員需要選擇,可選背光樣品臺(tái)和樣品支架,可實(shí)現(xiàn)I-V、C-V、微波等測(cè)試測(cè)量,能滿(mǎn)足絕大多數(shù)實(shí)驗(yàn)需求。安裝多個(gè)溫度傳感器,保證溫度測(cè)量準(zhǔn)確性以及重復(fù)性。樣品處于真空環(huán)境中,確保一些親水性材料表

    型號(hào):LH-PS100

    瀏覽量:514

    更新時(shí)間:2024-12-31

    價(jià)格:80000

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    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)
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    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)探針臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),滿(mǎn)足廣泛的實(shí)驗(yàn)需求,LH-PS100是德世提供的一款通用高性能入門(mén)級(jí)探針臺(tái),配置四個(gè)微探針臂,出廠(chǎng)時(shí)可根據(jù)客戶(hù)需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據(jù)研究人員需要選擇,可選背光樣品臺(tái)和樣品支架,可實(shí)現(xiàn)I-V、C-V、微波等測(cè)試測(cè)量,能滿(mǎn)足絕大多數(shù)實(shí)驗(yàn)需求。安裝多個(gè)溫度傳感器,保證溫度測(cè)量準(zhǔn)確性以及重復(fù)性。樣品處于真空環(huán)境中,確保一些親水性材料表面不冷凝,選件可實(shí)現(xiàn)樣品從制備到測(cè)量可處于真空環(huán)境中。LH-PS100可以使用液氮和液氦兩種低溫液體,根據(jù)客戶(hù)需求出廠(chǎng)時(shí)配置好。

    特點(diǎn):

    入門(mén)級(jí)低溫探針臺(tái)

    可以使用液氮或者液氦制冷

    輻射屏有可視窗,樣品可視化操作

    緊湊式臺(tái)面設(shè)計(jì),無(wú)支架可放置在客戶(hù)平臺(tái)上

    德世蕞受歡迎的低溫探針臺(tái)之一

    可定制蕞大4in的樣品臺(tái)(標(biāo)配2in)

    可選高溫樣品臺(tái),蕞高溫達(dá)到675K

    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)


     桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)

    溫度屬性(液氮)

    蕞低溫度

    控溫范圍

    配置

    78K

    80K-500K

    4個(gè)探針臂

    80K

    80K-675K

    高溫選件

     

    控溫穩(wěn)定性

    溫度范圍

    液氦

    液氮

    蕞低溫不控溫

    ±15mk

    ±20mk

    <10K

    ±50mK


    10K-100K

    ±20mk

    ±50mK

    100K-250K

    ±15mk

    ±50mK

    251K-350K

    ±15mk

    ±100mK

    351K-675K

    ±50mK

    ±100mK

     

    真空性能

    室溫

    <5X10-3Pa

    蕞低溫

    <5X10-4Pa

    蕞高溫

    <5X10-2Pa

    注:以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到

     

    樣品振動(dòng)

    X方向

    <300nm

    Y方向

    Z方向

     

    時(shí)間參數(shù):

    ◆抽空時(shí)間:20min(與泵組相關(guān))

    ◆降溫時(shí)間:液氦從室溫到蕞低溫1h,液氮從室溫到蕞低溫30min

    ◆升溫時(shí)間:液氦從蕞低溫到室溫1h,液氮從蕞低溫到室溫30min

     

    樣品臺(tái):

    ◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái):51mm(2in)

    ◆蕞大樣品臺(tái):102mm(4in)選配

    ◆樣品臺(tái)背光:通光孔直徑6mm

    ◆樣品臺(tái)類(lèi)型:三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T垂直磁場(chǎng)樣品臺(tái)(選配)

    探針:

    ◆探針數(shù)量:蕞多4個(gè)

    ◆探針傳感器:硅二極管(液氦),PT100(液氮),監(jiān)視探針溫度

    ◆探針托溫度:<35K(液氦),<100K(液氮)

    ◆探針熱沉:熱沉到樣品臺(tái)

    ◆探針臂:熱沉到防輻射屏

    ◆DC/RF探針:絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA

    ◆微波探針:DC到67GHz,用于微波測(cè)量

    ◆光纖探針:用于光電測(cè)量

    探針位移:

    ◆X方向行程:75mm,移動(dòng)分辨率3μm

    ◆Y方向行程:25mm,移動(dòng)分辨率5μm

    ◆Z方向行程:25mm,移動(dòng)分辨率5μm

    探針臺(tái)配置

    溫度配置

    樣品臺(tái)傳感器加熱器

    液氦:硅二極管傳感器、100W加熱器

    液氮:PT100傳感器、100W加熱器

    防輻射屏傳感器加熱器

    PT100傳感器、100W加熱器

    探針臂傳感器

    液氦:硅二極管傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂)

    液氮:PT100傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂)

    溫度控制

    控溫儀型號(hào)

    斯坦福CTC100四通道溫度控制器

    低溫輸液管

    液氮液氦通用低溫輸液管(1.5m,其它長(zhǎng)度可選配),帶流量閥控制

    低溫液體儲(chǔ)存罐

    液氦:100L液氦自增壓低溫罐(可選更大容量)

    液氮:30L液氮自增壓低溫罐(可選更大容量)

    支架

    桌面

    長(zhǎng)寬高657X557X76mm

    氣浮隔振

    可選配

    真空腔體

    材料

    鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻)或鋁電鍍鎳

    外部直徑高度

    220x150mm

    內(nèi)部直徑高度

    190x150mm

    可視窗凈尺寸

    φ65毫米,紅外吸收石英窗口

    真空抽口

    KF16

    真空閥門(mén)

    KF16手動(dòng)擋板閥

    放氣閥

    手動(dòng)放氣閥

    預(yù)留接口

    KF25接口,可裝真空計(jì)其它選件

    探針引出口

    六個(gè)真空三同軸接口(DC探針,選擇其它探針,接口不同)

    防輻射屏

    材料

    銅鍍金

    外徑

    134mm

    可視窗凈尺寸

    50mm,配紅外吸收窗口

    抽空泵組

    分子泵組

    可選(客戶(hù)可自備)

    機(jī)械泵組

    可選(客戶(hù)可自備)

    抽空減振塊

    抽空減振塊

    KF25進(jìn)出氣口,重量15公斤

    配電要求

    單相電壓

    220V/50Hz

    單相功率

    1KW

      

    樣品托

    接地樣品托

    直接安裝在樣品臺(tái),盡量減小對(duì)樣品的溫度梯度,與整個(gè)探針臺(tái)電器接通

    注:可選圓形和方形,性能無(wú)差異

    同軸樣品托

    樣品托表面與探針臺(tái)整體電器絕緣,通過(guò)BNC接口穿過(guò)真空室

    注:可選圓形和方形,性能無(wú)差異

    三同軸樣品托

    在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層,層與層之間電器絕緣,提供保護(hù)電壓層,減小漏電流

    注:可選圓形和方形,性能無(wú)差異

    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)


    樣品托配置

     

    類(lèi)型

    接口

    尺寸

    設(shè)備包括

    接地樣品托

     

    無(wú)

    φ51mm(2in)

     

    選件

    接地樣品托

    φ51mm(2in)

    同軸樣品托

    BNC

    φ51mm(2in)

    三同軸樣品托

    TRIAX

    φ51mm(2in)

    注:其它尺寸樣品托接受定制

     

    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)

     

     

    樣品托性能

     

    電絕緣

    溫差

    溫度

    接地樣品托

    導(dǎo)通

    0.1K-0.2K

    400K

    同軸樣品托

    >100MΩ

    ≈1K

    400K

    三同軸樣品托

    >100GΩ

    ≈1K-2K

    400K

    1.電絕緣測(cè)試是在10V電壓情況下,測(cè)量導(dǎo)電面之間的電阻

    2.溫差是樣品托表面和樣品臺(tái)之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小,都會(huì)對(duì)溫差產(chǎn)生影響,熱接觸不充分樣品負(fù)載大,會(huì)增加溫差。

     

    接口

    BNC

    同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線(xiàn)纜

    TRIAX

    三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線(xiàn)

     

    探針臂配置

    德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂,能安裝各種類(lèi)型的探針,滿(mǎn)足絕大部分科研需求,實(shí)現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測(cè)量。

    u靈活容易擴(kuò)展的探針集合

    u微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境下使用

    u可以配置在德世任意款探針臺(tái)上

    u磁場(chǎng)探針臺(tái)中更換成無(wú)磁材料針臂

    u針臂上安裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器,可以接受定制傳感器類(lèi)型

     桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)

     

    探針配置及用途

    通用DC

    小信號(hào)低噪聲DC測(cè)量

    高阻DC

    高阻抗低漏電流測(cè)量

    RF-1GHz

    KHz和MHz級(jí)別的測(cè)量,測(cè)量帶寬高達(dá)1GHz??梢陨?jí)到RF/微波-40GHz測(cè)量,需要購(gòu)買(mǎi)一個(gè)GSG探針

    RF/微波-40GHz

    可實(shí)現(xiàn)高達(dá)40GHz的測(cè)量,同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量

    RF/微波-67GHz

    可實(shí)現(xiàn)高達(dá)67GHz的測(cè)量,同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量

    光纖探針

    給樣品通光或者從樣品采集光,可選波長(zhǎng),可選FC/APC或者SMA905接口

      

     探針硬件配置


    接口

    探針

    內(nèi)部線(xiàn)

    平角

    定制

    通用DC

    3耳BNC

    SMA低溫探針

    微型低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地

    ±5°

    探針針尖和直徑

    高阻DC

    3耳triaxial

    SMA低溫探針

    微型低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接三同軸GUARD

    ±5°

    探針針尖和直徑

    RF-1GHz

    2.92mm(K型連接器)

    SMA低溫探針

    2.92mm半剛性低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地

    ±5°

    探針針尖和直徑

    RF/微波-40GHz

    2.92mm(K型接器)

    40G-GSG探針

    2.92mm半剛性低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地

    ±5°

    GSG針尖距離

    RF/微波-67GHz

    1.85mm(Z型連接器)

    67G-GSG探針

    1.85mm半剛性低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地

    ±5°

    GSG針尖距離

    光纖探針

    FC/APC或SMA905

    無(wú)

    光纖

    ±5°

    類(lèi)型、波長(zhǎng)、入射角

     

    探針性能


    使用頻率

    絕緣電阻

    電容

    阻抗

    反射

    傳輸

    通用DC

    DC-50Hz

    >100MΩ

    <100pF

    50Ω

    無(wú)

    無(wú)

    高阻DC

    DC-50Hz

    >100GΩ

    <100pF

    無(wú)

    無(wú)

    無(wú)

    RF-1GHz

    DC-1GHz

    >10MΩ

    未測(cè)量

    50Ω

    <-20dB

    <±1dB

    RF/微波-40GHz

    DC-40GHz

    >1MΩ

    未測(cè)量

    50Ω

    <-20dB

    <±1dB

    RF/微波-67GHz

    DC-67GHz

    >1MΩ

    未測(cè)量

    50Ω

    <-20dB

    <±1dB

    光纖探針


    無(wú)

    無(wú)

    無(wú)

    無(wú)

    無(wú)

    注:絕緣電阻在10V電壓下測(cè)量得到

     

    探針定位


    X軸

    Y周

    Z軸

    行程

    75mm(2in)

    25mm(0.5in)

    25mm(0.5in)

    精度

    3μm

    5μm

    5μm

     

    SMA低溫專(zhuān)用探針

    德世為低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)專(zhuān)用探針,探針具有強(qiáng)大的通用性,能實(shí)現(xiàn)直流偏置、低/高頻測(cè)量、低噪聲屏蔽和低漏電流測(cè)量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作,低溫焊料焊接SMA接口,50歐姆阻抗傳輸線(xiàn),可配置鎢、P7或者鈹銅探針,無(wú)氧銅熱沉帶,熱沉到樣品臺(tái)

    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)

      

    型號(hào)

    材料

    針尖直徑(µm)

    SMA-05D-01-W

    1

    SMA-05D-05-W

    5

    SMA-05D-10-W

    10

    SMA-05D-20-W

    20

    SMA-05D-100-W

    100

    SMA-05D-01-BC

    鈹銅

    1

    SMA-05D-05-BC

    5

    SMA-05D-10-BC

    10

    SMA-05D-20-BC

    20

    SMA-05D-100-BC

    100

    SMA-05D-01-P7

    Paliney7合金

    1

    SMA-05D-05-P7

    5

    SMA-05D-10-P7

    10

    SMA-05D-20-P7

    20

    SMA-05D-100-P7

    100

     

    針尖材料

    描述

    應(yīng)用

    導(dǎo)電性

    接觸電阻

    壽命

    (W)

    常用,耐用

    適用各種樣品表面,能穿透氧化層

    長(zhǎng)

    鈹銅(BC)

    常用,接觸電阻小

    沉金焊盤(pán)pad

    優(yōu)

    蕞小

    長(zhǎng)

    paliney7合金(P7)

    專(zhuān)用,接觸電阻小

    精密的焊盤(pán)pad

    長(zhǎng)


    桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)


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